實際生產中的三坐標測量儀一般會配備一個精度很高的鑄鐵平臺作為工作臺，工作臺的寬度較窄而長度很長，平臺上配有導軌，來適應工件的來回移動。
三坐標其工作原理是利用光柵繞射所制成的量測系統(tǒng)俗稱光學尺，其光源經過瞄準透鏡而投射到游動刻度尺和主刻度尺，藉其光波產生Moire條紋明暗訊號之原理，由光電管接收其信號，經放大及修正后即可顯示出來，其系統(tǒng)及輸出信號情形。
1、量測前準備： 
（a）檢查空氣軸承壓力是否足夠 
（b）安裝工件 
2、測頭選擇及安裝： 
（a）將適當之測頭裝于Z軸承接器 
（b）檢視Z軸是否會自動滑落（否則應調整紅色壓力平衡調整閥） 
（c）鎖定各軸之適當位置 
3、量測操作： 
（a）開啟處理機電源 
（b）啟開打印機開關 
（c）參考操作手冊，選擇所需功能之指令 
（d）進行量測，并讀出量測值 
4、完成后注意事項： 
（a）Z軸移至原來位置后，鎖定 
（b）X,Y軸各移至zhongyang，鎖定 
（c）關電源及壓力閥 
（d）取下測頭 
（e）并作適當?shù)谋ｐB(yǎng)
三坐標這種的儀器，一般經過一年左右的使用就要進行定期的維護和調整，以便保證檢測的精度。